ISO

ISO 23131:2021

Эллипсометрия. Принципы

Ellipsometry Principles

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
22

Подробная информация

Обозначение
ISO 23131:2021
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Эллипсометрия. Принципы
Заглавие на английском языке
Ellipsometry Principles
Код КС (ОКС, МКС)
17.020
ТК – разработчик стандарта
TC 107
Язык оригинала
английский
Номер издания
1
Дата опубликования
22.04.2021
Количество страниц оригинала
22
Код цены
C