ISO

ISO 23216:2021

Пленки на основе углерода. Определение оптических свойств аморфных углеродных пленок с применением спектроскопической эллипсометрии

Carbon based films Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
14

Подробная информация

Обозначение
ISO 23216:2021
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Пленки на основе углерода. Определение оптических свойств аморфных углеродных пленок с применением спектроскопической эллипсометрии
Заглавие на английском языке
Carbon based films Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry
Код КС (ОКС, МКС)
25.220.99
ТК – разработчик стандарта
TC 107
Язык оригинала
английский
Номер издания
1
Дата опубликования
04.05.2021
Количество страниц оригинала
14
Код цены
B