ISO

ISO 18114:2021

Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение коэффициентов относительной чувствительности по стандартным образцам с имплантированными ионами

Surface chemical analysis Secondary-ion mass spectrometry Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
12

Подробная информация

Обозначение
ISO 18114:2021
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение коэффициентов относительной чувствительности по стандартным образцам с имплантированными ионами
Заглавие на английском языке
Surface chemical analysis Secondary-ion mass spectrometry Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
Код КС (ОКС, МКС)
71.040.40
Обозначение заменяемого(ых)
ISO 18114:2003
ТК – разработчик стандарта
TC 201/SC 6
Язык оригинала
английский
Номер издания
2
Дата опубликования
11.05.2021
Количество страниц оригинала
12
Код цены
A