Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 36
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 14644-10:2022
- Статус
- Действует
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Оценка чистоты поверхности на наличие химического загрязнения
- Заглавие на английском языке
- Cleanrooms and associated controlled environments Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination
- Код КС (ОКС, МКС)
- 13.040.35
- Обозначение заменяемого(ых)
- ISO 14644-10:2013
- ТК – разработчик стандарта
- TC 209
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 2
- Дата опубликования
- 04.05.2022
- Количество страниц оригинала
- 36
- Код цены
- E