ISO

ISO 14644-9:2022

Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Оценка чистоты поверхностей по концентрации частиц

Cleanrooms and associated controlled environments Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
34

Подробная информация

Обозначение
ISO 14644-9:2022
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Оценка чистоты поверхностей по концентрации частиц
Заглавие на английском языке
Cleanrooms and associated controlled environments Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration
Код КС (ОКС, МКС)
13.040.35
Обозначение заменяемого(ых)
ISO 14644-9:2012
ТК – разработчик стандарта
TC 209
Язык оригинала
английский
Номер издания
2
Дата опубликования
09.05.2022
Количество страниц оригинала
34
Код цены
D