Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 36
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 23170:2022
- Статус
- Действует
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Химический анализ поверхности. Профилирование глубины. Неразрушающее профилирование глубины наноразмерных тонких пленок оксида тяжелого металла на подложках Si с рассеянием ионов средней энергии
- Заглавие на английском языке
- Surface chemical analysis Depth profiling Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering
- Код КС (ОКС, МКС)
- 71.040.40
- ТК – разработчик стандарта
- TC 201/SC 4
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 1
- Дата опубликования
- 15.06.2022
- Количество страниц оригинала
- 36
- Код цены
- E