ISO

ISO 14606:2022

Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Оптимизация с помощью послойных систем в качестве стандартных образцов

Surface chemical analysis Sputter depth profiling Optimization using layered systems as reference materials

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
24

Подробная информация

Обозначение
ISO 14606:2022
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Оптимизация с помощью послойных систем в качестве стандартных образцов
Заглавие на английском языке
Surface chemical analysis Sputter depth profiling Optimization using layered systems as reference materials
Код КС (ОКС, МКС)
71.040.40
Обозначение заменяемого(ых)
ISO 14606:2015
ТК – разработчик стандарта
TC 201/SC 4
Язык оригинала
английский
Номер издания
3
Дата опубликования
21.11.2022
Количество страниц оригинала
24
Код цены
C