ISO

ISO 23131-3:2026

Эллипсометрия. Часть 3. Прозрачная однослойная модель

Ellipsometry Part 3: Transparent single layer model

Основные сведения

Статус
Действует
Количество страниц
36

Подробная информация

Обозначение
ISO 23131-3:2026
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Эллипсометрия. Часть 3. Прозрачная однослойная модель
Заглавие на английском языке
Ellipsometry Part 3: Transparent single layer model
Код КС (ОКС, МКС)
17.020
ТК – разработчик стандарта
TC 107
Язык оригинала
английский
Номер издания
1
Дата опубликования
30.01.2026
Количество страниц оригинала
36
Код цены
E