Основные сведения
- Статус
- Действует
- Количество страниц
- 20
Подробная информация
- Обозначение
- ISO 19383:2026
- Статус
- Действует
- Вид стандарта
- ST
- Заглавие на русском языке
- Осаждение атомных слоев. Химические характеристики и соответствующие технологические спецификации прекурсоров для осаждения атомных слоев
- Заглавие на английском языке
- Atomic layer deposition Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
- Код КС (ОКС, МКС)
- 25.220.01
- ТК – разработчик стандарта
- TC 107
- Язык оригинала
- английский
- Номер издания
- 1
- Дата опубликования
- 01.06.2026
- Количество страниц оригинала
- 20
- Код цены
- C